質量流量控制器輸出的流量檢測到的電壓與流過通道的氣體質量成正比。滿量程檢測輸出電壓為5VDC。氣體質量流量控制器的檢測范圍為2一 100%滿刻度(量程比為50: 1)，流量分辨率為0. 1%滿刻度。
      注意氣體質量流量控制器的閥控”線置于清洗”位時也可以當成氣體質量流量計使用。這時，流量檢測輸出電壓的輸出值可能達到10VDC以上。需要注意的是，一旦輸出電壓超過5VDC，流量檢測電壓和實際通過的流量不成線性對應關系。清洗時，流量顯示是不準確的，而且還可能出現(xiàn)流量增大、顯示減小的現(xiàn)象，但這些不會損壞質量流量控制器。
      PID控制電路就構成了流量質量控制器。氣體質量流量控制器主要應用于石油化工、半導體和集成電路、特種材料學科、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領域，其典型應用有：電子工藝設備，如氧化、CVD、擴散、外延、等離子蝕刻、離子注入和濺射，以及微反應裝置、配氣和混氣系統(tǒng)、鍍膜設備、光纖熔煉、氣相色譜儀以及其它分析儀器
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